本文關(guān)鍵詞： 薄膜 熱導(dǎo)率 測(cè)量方法　出處：《功能材料》2017年06期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：薄膜材料對(duì)微納器件制造不可或缺,而其熱導(dǎo)率直接限制微納器件的散熱性能,從而影響器件的可靠性。因此,研究薄膜熱物理性質(zhì)對(duì)于半導(dǎo)體器件的制造以及集成電路的設(shè)計(jì)極為重要。為此,對(duì)薄膜材料熱導(dǎo)率測(cè)量方法進(jìn)行了綜述,并在分析薄膜微結(jié)構(gòu)模型的基礎(chǔ)上,對(duì)熱導(dǎo)率測(cè)量方法進(jìn)行了可行性分析,從而為薄膜材料熱性能測(cè)量提供技術(shù)參考。
[Abstract]:Thin film material is indispensable to the fabrication of micro / nano devices, and its thermal conductivity directly limits the heat dissipation performance of micro / nano devices, thus affecting the reliability of the devices. It is very important to study the thermo-physical properties of thin films for the fabrication of semiconductor devices and the design of integrated circuits. In this paper, the measurement methods of thermal conductivity of thin film materials are reviewed, and the microstructure model of thin films is analyzed. The feasibility of the thermal conductivity measurement method is analyzed, which provides a technical reference for the measurement of the thermal properties of thin film materials.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海高等研究院薄膜光電工程技術(shù)研究中心;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：中國(guó)科學(xué)院國(guó)家外國(guó)專(zhuān)家局創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)國(guó)際合作伙伴計(jì)劃對(duì)本項(xiàng)目的大力支持
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 0引言隨著微納器件向高速、低功耗、高集成度發(fā)展,微納尺度條件下熱傳導(dǎo)問(wèn)題尤為重要[1]。薄膜材料在微納器件制造中不可或缺,薄膜材料的熱導(dǎo)率直接影響器件的散熱性能,進(jìn)而對(duì)其可靠性以及運(yùn)行速度也會(huì)有較大的影響。因此,提高薄膜材料的熱導(dǎo)率,讓微納器件始終在最優(yōu)溫度下運(yùn)

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 吳國(guó)光;;聚酯及其薄膜研發(fā)應(yīng)用新進(jìn)展[J];信息記錄材料;2011年06期

2 李竹影;章銘亮;羅珊;;摻鎳氧化鎢鉬薄膜的阻抗特性[J];海軍工程大學(xué)學(xué)報(bào);2009年02期

3 李立;權(quán)建洲;陶波;;膜電極薄膜層合同步補(bǔ)償控制方法研究[J];組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù);2012年03期

4 李玉慶;耐熱高聚物熱解石墨薄膜的研制[J];碳素;1990年02期

5 姜莉;劉奎仁;簡(jiǎn)小琴;王恩德;;光催化抗菌薄膜的制備與性能研究[J];分析儀器;2007年03期

6 余壽文;薄膜-基底的幾個(gè)力學(xué)問(wèn)題[J];力學(xué)與實(shí)踐;1993年04期

7 周洋;武光明;殷天蘭;丁堯;;液位沉降法制備ITO薄膜及其光電性能研究[J];北京石油化工學(xué)院學(xué)報(bào);2013年04期

8 陳愛(ài)軍;吳雪梅;諸葛蘭劍;;ZnO薄膜的磁電光性質(zhì)研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2006年S1期

9 劉軍芳;徐軍;姚武;;脈沖激光沉積法制備β-BBO薄膜[J];材料導(dǎo)報(bào);2007年01期

10 王明;邢永燕;馬擁軍;代波;;金屬間化合物Ni_3Al薄膜的制備及性能研究[J];功能材料;2012年11期

相關(guān)會(huì)議論文 前7條

1 龍素群;輝永慶;鐘志京;;TiO_2薄膜的制備及甲醛的光催化降解[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2005）[C];2005年

2 張東波;魏悅廣;;薄膜/基體的熱失配致界面層裂研究[A];損傷、斷裂與微納米力學(xué)進(jìn)展：損傷、斷裂與微納米力學(xué)研討會(huì)論文集[C];2009年

3 張化福;劉漢法;祁康成;;p-SiTFT柵絕緣層用SiN薄膜的制備與研究[A];第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2007年

4 吳傳貴;劉興釗;張萬(wàn)里;李言榮;;非制冷紅外探測(cè)器用BST薄膜的制備與性能研究[A];第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅲ[C];2004年

5 許積文;王華;任明放;成鋼;;無(wú)反應(yīng)直流濺射中功率對(duì)ZnO：Al薄膜光電性能與形貌的影響[A];第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2007年

6 李志中;陳光華;何斌;郜志華;張曉康;丁毅;張巖;周濤;鄧金祥;;p-c-BN／p-Si薄膜同型異質(zhì)結(jié)的電學(xué)特性[A];2006年全國(guó)功能材料學(xué)術(shù)年會(huì)專(zhuān)輯[C];2006年

7 林志東;呂進(jìn)玉;曾文;;納米TiO_2薄膜微陣列電極的制備與紫外光電阻特性表征[A];第六屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2007年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 蘇玲;堿木質(zhì)素-PVA基交聯(lián)薄膜的制備與性能研究[D];東北林業(yè)大學(xué);2015年

2 黃立靜;金屬?gòu)?fù)合雙層/多層透明導(dǎo)電薄膜的制備及其光電性能研究[D];江蘇大學(xué);2015年

3 洪敦華;雙鈣鈦礦LaBaCo_2O_(5+δ)薄膜的制備及其氧敏性質(zhì)研究[D];電子科技大學(xué);2014年

4 武全萍;納米α-Fe_2O_3薄膜可控制備與光解水制氫研究[D];天津大學(xué);2015年

5 云宇;Bi_6Fe_(2-x)Co_xTi_3O_(18)外延單晶薄膜的生長(zhǎng)和分析表征[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年

6 李妍;二維微納結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移及初步應(yīng)用[D];東北大學(xué);2015年

7 許志勇;M型鋇鐵氧體薄膜顯微結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)系研究[D];電子科技大學(xué);2016年

8 唐秀鳳;微型激光器中TCO薄膜電極及Al_2O_3薄膜介質(zhì)層研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2016年

9 高磊;層狀硫系化合物薄膜與量子結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)與物性研究[D];電子科技大學(xué);2016年

10 陳波;單層和少層二硫化鉬的制備及Co摻雜ZnO薄膜室溫鐵磁性的研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 李曉婷;入射光和結(jié)構(gòu)色耦合效應(yīng)對(duì)彩色Ti0_2薄膜上客體分子的光富集作用[D];上海師范大學(xué);2015年

2 劉文龍;Bi_(1-x)RE_xFe_(1-y)TM_yO_3/NiFe_2O_4（RE=Sm,Sr;TM=Cr,Mn）薄膜的制備及多鐵性研究[D];陜西科技大學(xué);2015年

3 吳曉平;基于層層自組裝法制備CNT薄膜及其壓阻傳感性能研究[D];青島理工大學(xué);2015年

4 何維;完全醇解型PVA包裝薄膜的耐水性研究[D];湖南工業(yè)大學(xué);2015年

5 陳德方;PET基透明柔性LaB_6薄膜的制備及其光學(xué)性能研究[D];山東大學(xué);2015年

6 朱泯西;激光轉(zhuǎn)移銅錫單IMC薄膜工藝及與銅錫薄膜界面行為[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

7 張未芳;釔錳交替摻雜鈦酸鍶鋇薄膜預(yù)熱處理研究[D];電子科技大學(xué);2015年

8 曾祥英;還原氧化石墨烯薄膜的制備及其導(dǎo)熱性能的研究[D];上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;2015年

9 柳丕斌;電沉積Bi-Te薄膜的形貌結(jié)構(gòu)與性能表征[D];北京化工大學(xué);2015年

10 趙樹(shù)闊;AIN應(yīng)力層調(diào)控激光脈沖沉積法生長(zhǎng)VO_2薄膜相變特性研究[D];大連理工大學(xué);2015年

，

本文編號(hào)：1459350