<正>柱面微透鏡陣列在疊陣半導(dǎo)體激光器快慢軸準直、裸眼3D成像、平行加工等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。針對半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域:隨著輸出功率增大,尺度縮小;用于準直的透鏡單元寬度由目前500μm朝100μm內(nèi)縮減,長度維持mm量級,基材朝石英玻璃等高強度材料發(fā)展。目前適用于單元寬度100μm以內(nèi)透鏡陣列制造的方法均受限于聚合物材料,且受占空比小、效率低等缺陷影響,均難以滿足工業(yè)發(fā)展需求。飛秒激光以其超快、超強的獨特優(yōu)勢,可對所有材料實現(xiàn)冷加工,且加工尺

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