隨著集成電路封裝技術不斷向細間距、大尺寸的封裝方向發(fā)展,砂輪劃片機對其高精度的運動系統(tǒng)的加工范圍、定位精度、對刀測量精度提出了更高的要求�；�于此,針對12英寸工作臺的砂輪劃片機的運動系統(tǒng)進行選型設計、精度控制及誤差補償以保證運動系統(tǒng)的高精度要求,在提高劃片機加工范圍的同時保證其運動的定位及對刀測量精度對集成電路的質(zhì)量及成品率具有重要的意義。本文基于自主研發(fā)的劃片機,針對其運動系統(tǒng)各軸定位、對刀測量技術這兩個方面進行研究,展開了以下幾個方面的工作:(1)運動系統(tǒng)的機構選型與設計。根據(jù)劃片機運動系統(tǒng)的劃切運動工作原理確定運動系統(tǒng)的技術指標,包括各軸所需實現(xiàn)的運動功能、傳動方式及精度要求,對運動平臺的旋轉(zhuǎn)機構和直線運動機構進行選型設計,為后續(xù)伺服控制系統(tǒng)實現(xiàn)高精度定位保證高穩(wěn)定性。(2)劃片機運動控制系統(tǒng)設計。通過技術指標選擇運動控制卡結(jié)合工控機控制的方案,分析設備所需實現(xiàn)的運動方式從而設計配套運動算法,并對接觸式及非接觸式對刀測量模塊進行設計。通過介紹伺服控制原理實現(xiàn)對控制系統(tǒng)的前饋PID控制整定參數(shù)的調(diào)試,使運動系統(tǒng)的伺服響應時間短,跟隨誤差小。(3)運動系統(tǒng)誤差分析及檢測補償。首先通過誤...

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 劃片機的發(fā)展現(xiàn)狀
    1.3 劃片機運動系統(tǒng)介紹
        1.3.1 運動機構
        1.3.2 電氣系統(tǒng)
        1.3.3 控制系統(tǒng)
    1.4 本文研究內(nèi)容
第2章 運動系統(tǒng)結(jié)構設計
    2.1 劃片機劃切工作原理
    2.2 劃片機運動系統(tǒng)結(jié)構概述
    2.3 運動系統(tǒng)結(jié)構的主要結(jié)構設計
        2.3.1 旋轉(zhuǎn)軸結(jié)構設計
        2.3.2 直線運動軸結(jié)構設計
        2.3.3 床身設計
    2.4 本章小結(jié)
第3章 運動控制系統(tǒng)設計
    3.1 控制系統(tǒng)硬件設計
        3.1.1 控制系統(tǒng)總體結(jié)構
        3.1.2 關鍵器件選型
        3.1.3 運動模塊電控設計
        3.1.4 測高模塊電控設計
    3.2 控制系統(tǒng)軟件設計
        3.2.1 軟件結(jié)構
        3.2.2 編程語言
        3.2.3 運動程序設計
        3.2.4 操作界面
    3.3 運動伺服控制
        3.3.1 伺服控制原理
        3.3.2 PID+前饋控制調(diào)試
        3.3.3 調(diào)試結(jié)果分析
    3.4 本章小結(jié)
第4章 運動系統(tǒng)誤差分析及檢測補償
    4.1 劃片機運動系統(tǒng)誤差分析
        4.1.1 誤差模型的特點和建立方法
        4.1.2 誤差矩陣法建立誤差模型
        4.1.3 誤差辨識方案設計
    4.2 運動系統(tǒng)主要誤差檢測補償
        4.2.1 主要誤差因素分析
        4.2.2 誤差補償方案設計
    4.3 各軸誤差檢測
        4.3.1 激光干涉儀測量原理
        4.3.2 線性位移誤差測量及分析
        4.3.3 工作臺平面度測量
    4.4 各軸誤差補償
        4.4.1 軸誤差補償原理
        4.4.2 PMAC軸補償
    4.5 檢測實驗
        4.5.1 測高模塊精度穩(wěn)定性測試
        4.5.2 加工測試
    4.6 本章小結(jié)
總結(jié)與展望
參考文獻
致謝



本文編號：4048856