ArF準分子激光器被廣泛應用于科研、醫(yī)療和工業(yè)領域,其激光性能與放電腔溫度密切相關。為了實現溫度控制的高精度和高穩(wěn)定性,本文重點研究溫度控制系統(tǒng)的結構及其算法,設計了一套溫度控制系統(tǒng)。本文的主要研究工作和結論如下:根據ArF準分子激光器應用場景提出了溫度控制系統(tǒng)需求,設計了三種溫度控制方案。從控制精度、經濟性、集成度和人機交互性四個方面對比了三種方案的優(yōu)缺點,最終采用通過工控機控制比例閥調節(jié)流量以實現溫度控制需求的方案。從結構、電氣和軟件三個方面對溫度控制系統(tǒng)進行詳細設計,建立配水單元三維模型,設計電氣原理圖,編寫溫度控制軟件。由于供水系統(tǒng)的壓力存在波動,需要抑制其壓力波動對溫度控制精度的干擾。基于單回路PID控制,設計了串級PID控制,從理論上證明了供水壓力波動干擾時,串級控制較單回路控制抗干擾能力強的結論。設計了單回路溫度控制PID、串級控制中的主PID和副PID三個增量式PID控制器。辨識了比例閥的傳遞函數,整定流量控制PID參數,并使用Simulink進行了流量控制仿真。為了避免流量控制出現積分飽和問題,設計了積分分離和幅值限定兩種抗積分飽和方法。最后,搭建溫度控制實驗平臺,驗證...

【文章頁數】：86 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1準分子激光器輸出功率與溫度變化關系

照[9]如表1-1所示。表1-1光刻機對ArF準分子激光器提出的特性要求光刻機的特性ArF準分子激光器對應的特高分辨力窄線寬、短波長高效率高重復率、高功率高CD控制高能量穩(wěn)定性、高波長穩(wěn)定低成本長壽命、高脈沖寬度的功率、能量穩(wěn)定性和工作氣體壽命與放電腔....

圖1-2第一臺商用準分子激光器EMG500目前，國外的準分子激光器供應商主要有：美國的Coherent、Cymer、Gamlaser公

中科技大學碩士學位論重復頻率可在0.05Hz-20Hz之間變化，可輸出193nm，248nm激光輸出時，脈沖能量達220mJ[12]。20世紀礎研究促使準分子激光市場迅速增大[12]。20世紀90年率技術、光束控制技術以及激光電源技術的發(fā)展，準....

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圖3-17輸入電流和輸出流量隨時間變化曲線

圖3-17輸入電流和輸出流量隨時間變化曲線Matlab中的ident工具箱進行辨識，將傳遞函數模型分別設置為一階和單零點單極點模型，得到相應的辨識模型。到的一階慣性延遲模型的傳遞函數見式(3-7)：..()..0s079622079622Gse10....

本文編號：4051179