本文關(guān)鍵詞：石英玻璃的化學(xué)機(jī)械磨削加工，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

No．7 第18卷第7期 光學(xué)精密工程 V01．18 andPrecision 2010年7月 Optics Engineering Jul．2010 文章編號(hào)1004―924X 2010 07―1554―08 石英玻璃的化學(xué)機(jī)械磨削加工 仇中軍1，周立波2，房豐洲1，椎名剛志2，江田弘2 L天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，天津300072； 2．日本茨城大學(xué)工學(xué)部，茨城日立316―8511 摘要：為了實(shí)現(xiàn)石英玻璃基板的高效、高質(zhì)量加工，進(jìn)一步改善光掩模設(shè)備的性能，進(jìn)行了石英玻璃化學(xué)機(jī)械磨削 CMG 加工技術(shù)的研究。通過(guò)在磨削過(guò)程中主動(dòng)增強(qiáng)磨粒、結(jié)合劑以及磨削液與工件的化學(xué)反應(yīng)，并使化學(xué)反應(yīng)與機(jī) 械去除作用形成動(dòng)態(tài)平衡，，從而消除因材料脆性去除而造成的表面損傷等，實(shí)現(xiàn)了大口徑玻璃工件的高表面質(zhì)量、高形 狀精度的加工。針對(duì)石英玻璃CMG加工的特點(diǎn)，開(kāi)發(fā)了CMG專用砂輪及磨削液，利用正交實(shí)驗(yàn)法優(yōu)化了石英玻璃 CMG加工工藝參數(shù)，分析了CMG加工過(guò)程中磨削壓力、砂輪轉(zhuǎn)速、磨削液流量、pH值等因素對(duì)加工表面粗糙度及加工 效率的影響，并利用優(yōu)化后的工藝參數(shù)加工得到了兄為0．795am的石英玻璃表面。加工后基板的光學(xué)性能和化學(xué)機(jī) 械拋光 CMP 加工基板的光學(xué)性能相同，能夠滿足光掩模設(shè)備的性能需求。 關(guān)鍵詞：化學(xué)機(jī)械磨削；石英玻璃；正交試驗(yàn)法 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A doi：10．3788／OPE．20101807．1554 中圖分類號(hào)：TQl71．68 Chemicalmechanicalfor grindingquartzglass

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