微結(jié)構(gòu)陣列光學(xué)元件的加工受到越來越廣泛的關(guān)注,單點金剛石飛刀切削技術(shù)以高效率低成本且加工精度高的優(yōu)勢,逐漸應(yīng)用于微結(jié)構(gòu)的加工。本文主要研究飛刀切削微金字塔結(jié)構(gòu)時,機(jī)床重復(fù)定位誤差和循環(huán)加工引入的誤差對微結(jié)構(gòu)切削效果的影響,分析V槽切削時次溝槽產(chǎn)生的條件,研究抑制次溝槽產(chǎn)生方法,實驗驗證了可以通過控制切削深度大于最小切削深度來抑制次溝槽的產(chǎn)生。

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【部分圖文】：

圖1 飛刀切削加工方式

飛刀切削微金字塔陣列結(jié)構(gòu)原理就是把刀尖的形狀復(fù)刻到工件表面，然后形狀疊加而成型。這種方法加工的金字塔形狀輪廓精度高，加工效率高。飛刀切削已經(jīng)廣泛應(yīng)用于V槽陣列和微金字塔陣列結(jié)構(gòu)的加工[10]，可以加工的微金字塔結(jié)構(gòu)單元尺寸達(dá)10μm。隨著應(yīng)用的需求，擴(kuò)大切削金字塔的適用范圍，研究....

圖2 仿形法飛刀車削微金字塔陣列原理

圖1飛刀切削加工方式3微結(jié)構(gòu)誤差分析

圖3 V形槽的特征尺寸示意圖

仿形法切削加工的V形槽即刀尖形狀的復(fù)刻，與刀具的形狀相同。V形槽的特征尺寸如圖3，當(dāng)?shù)毒叩都庑螤畲_定后，刀尖角度決定了結(jié)構(gòu)尺寸的形狀特征，即寬度與高度的比值L/H固定，如刀具刀尖角度為90°時，L/H=2。特征尺寸L的值通過控制刀具每轉(zhuǎn)進(jìn)給量來實現(xiàn)，特征尺寸H由切削深度控制。在車....

圖4 刀具中心偏移對V槽切削效果影響

如圖4所示，用飛刀切削循環(huán)加工相鄰的連續(xù)V槽，第一次切削深度為V槽深度的一半，加工結(jié)果如圖4(a)。若切削過程中刀具中心未發(fā)生偏移，第二次切削時的刀具在第一次的基礎(chǔ)上，在切削深度方向進(jìn)給，加工出連續(xù)的V形槽，如圖4(b)。當(dāng)?shù)诙�次車削刀具中心發(fā)生偏移時，切削效果如圖4(c)，會在....

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