磁傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)療、國(guó)防軍事等領(lǐng)域。新興的磁電聲表面波(MSAW)傳感器不僅具有微型化、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),而且天生繼承了聲表面波傳感器的優(yōu)勢(shì),具有無(wú)源、無(wú)線(xiàn)讀取、測(cè)量范圍廣、維護(hù)方便等特點(diǎn),是目前唯一的無(wú)源無(wú)線(xiàn)磁場(chǎng)傳感技術(shù)。因此,研究磁電聲表面波傳感器及其無(wú)線(xiàn)測(cè)試技術(shù)具有重要的意義。本論文的主要工作如下:首先,通過(guò)在SAW諧振器上依次沉積了 SiO2絕緣層、[FeCoSiB/SiO2]n磁致伸縮多層膜,制作了一種單端口諧振型磁電聲表面波傳感器。為了探究磁各向異性對(duì)磁聲響應(yīng)的影響,采用不同方向的誘導(dǎo)磁場(chǎng)制作了三類(lèi)MSAW傳感器,獲得了“蝴蝶型”和“迴線(xiàn)型”fR-H曲線(xiàn),討論了誘導(dǎo)各向異性、形狀各向異性和垂直各向異性的相互競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系及對(duì)磁傳感特性的影響。其次,設(shè)計(jì)了一種與MSAW傳感器相匹配的無(wú)線(xiàn)問(wèn)詢(xún)系統(tǒng)。該系統(tǒng)發(fā)射端采用DDS驅(qū)動(dòng)鎖相環(huán)倍頻技術(shù),倍頻信號(hào)由末端功率放大器進(jìn)行放大,輸出窄帶脈沖信號(hào)。接收端采用下變頻解調(diào)結(jié)構(gòu),包括低噪聲放大器(LNA)、混頻器、鎖相環(huán)本振電路和ADC采樣電路。ADC采樣數(shù)據(jù)由基于FPGA設(shè)計(jì)的FFT算法模塊進(jìn)行處理,提取差頻信號(hào)的頻率值。通過(guò)AD...

【文章頁(yè)數(shù)】：83 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１基于ＬｉＮｂ０３延遲線(xiàn)的ＭＳＡＷ器件⑻７０?ＭＨｚ測(cè)試結(jié)果；（ｂ）?３階諧波測(cè)試結(jié)果口??

術(shù)極少應(yīng)用于磁電ＳＡＷ的檢測(cè)，因此本文的研??究目標(biāo)在于搭建高速、便攜測(cè)試的無(wú)線(xiàn)問(wèn)詢(xún)系統(tǒng)。??１．２國(guó)內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線(xiàn)表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過(guò)外加磁場(chǎng)控制相速度，以實(shí)現(xiàn)磁傳感的....

圖１－２?Ｍｉｃｈｉｏ?Ｋａｄｏｔａ等人設(shè)計(jì)的（ａ）?ＭＳＡＷ器件結(jié)構(gòu)；（ｂ）?３種叉指電極結(jié)構(gòu)［２６】??

術(shù)極少應(yīng)用于磁電ＳＡＷ的檢測(cè)，因此本文的研??究目標(biāo)在于搭建高速、便攜測(cè)試的無(wú)線(xiàn)問(wèn)詢(xún)系統(tǒng)。??１．２國(guó)內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線(xiàn)表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過(guò)外加磁場(chǎng)控制相速度，以實(shí)現(xiàn)磁傳感的....

圖１－５?ＡｌＮ／ＦｅＧａＢ雙層結(jié)構(gòu)的ＭＥＭＳ諧振型磁場(chǎng)傳感器［２８］??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場(chǎng)與器件Ｑ值的關(guān)系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測(cè)試結(jié)果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側(cè)［一?一?....

圖１－３?（ａ）?ＭＳＡＷＱ值；（ｂ）Ｎｉ電極頻率－磁場(chǎng)曲線(xiàn)；（ｃ）?ＴｂＦｅ２電極頻率－磁場(chǎng)曲線(xiàn)［２６〗??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場(chǎng)與器件Ｑ值的關(guān)系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測(cè)試結(jié)果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側(cè)［一?一?....

本文編號(hào)：4047034